GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法

标准编号：GB/T 42276-2022

标准名称：氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法

英文名称：Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

银波、邱艳梅、李素青、张吉武、王港、李玫、侯倩慧、王晓娇、崔巍、刘国霞、黄彬、宋炳信、鲁文锋、张正霞、吴英良、曹家凯、高裕昆

起草单位

新特能源股份有限公司、瑞士万通中国有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青岛瓷兴新材料有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、江苏联瑞新材料股份有限公司

标准范围

本文件描述了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的离子色谱测定方法。

本文件适用于氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定，测试范围为0.0500mg/g~0.600mg/g。

标准文档截图