- GB/T 33523.606-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第606部分:非接触(变焦)式仪器的标称特性
- GB/T 42097-2022 地上石油储(备)库完整性管理规范
- GB/T 21241-2022 卫生洁具清洗剂
- GB/T 11987-2022 表面活性剂 工业烷烃磺酸盐 总烷烃磺酸盐含量的测定
- GB/T 19557.29-2022 植物品种特异性(可区别性)、一致性和稳定性测试指南 甘蓝
- GB/T 22264.4-2022 安装式数字显示电测量仪表 第4部分:频率表的特殊要求
- GB/T 42091-2022 大型锻钢件用真空钢锭的冶炼与铸锭规范
- GB/T 20002.6-2022 标准中特定内容的编写指南 第6部分:涉及中小微型企业需求
- GB/T 30923-2022 塑料 聚丙烯(PP)熔喷专用料
- GB/T 42187-2022 安全与韧性 组织韧性 原则和属性
GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
标准编号:GB/T 42106-2022
标准名称:纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
英文名称:Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
发布日期:2022-12-30
实施日期:2023-07-01
归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位:全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门:中国科学院
起草人
顾长志、杨海方、王益群、樊阳波、李俊杰、刘前
起草单位
中国科学院物理研究所、深圳市标准技术研究院、国家纳米科学中心
标准范围
本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法,主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。
本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变,进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。