GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片

标准编号：GB/T 30656-2023

标准名称：碳化硅单晶抛光片

英文名称：Polished monocrystalline silicon carbide wafers

发布日期：2023-03-17

实施日期：2023-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

陈小龙、彭同华、刘春俊、李素青、郑红军、杨建、佘宗静、王波、郭钰、娄艳芳、骆红、钮应喜

起草单位

北京天科合达半导体股份有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院物理研究所、安徽长飞先进半导体有限公司

标准范围

本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。

标准文档截图