GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

标准编号：GB/T 42191-2023

标准名称：MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

英文名称：Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device

发布日期：2023-05-23

实施日期：2023-09-01

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张威、顾枫、李宋、张亚婷、林瑞梅、李树成、王鹏、李晓波、陈路、高峰、陈君杰、王冰、李根梓、陈广忠、张良、陈立国、茅曙、张宾、许宙、王玮冰、明志茂、曹万

起草单位

北京大学、北京智芯传感科技有限公司、厦门光莆电子股份有限公司、宁波志伦电子有限公司、华东光电集成器件研究所、南京高华科技股份有限公司、湖南国天电子科技有限公司、广州广电计量检测股份有限公司、深圳安培龙科技股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司、广州奥松电子股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国科学院微电子研究所、南京沃天科技股份有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、昆山传感器测控技术有限公司

标准范围

本文件描述了 MEMS 压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。

本文件适用于 MEMS 压阻式压力敏感器件。

标准文档截图