DB13/T 5644-2022 3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中微量组分的测定 气相色谱法
标准编号:DB13/T 5644-2022
标准名称:3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中微量组分的测定 气相色谱法
英文名称:Determination of trace contents in 3.5% argon/10ppm xenon/neon mixture by GC
发布日期:2022-12-27
实施日期:2023-01-27
起草人
赵丙倩、陈良、郑秋艳、袁晓燕、殷越玲、崔雯、苏子杰、李帅楠
起草单位
中国船舶集团公司第七一八研究所、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
标准范围
本文件描述了用气相色谱法测定电子工业用气体3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中微量组分 的原理、试剂或材料、仪器设备、测定步骤及结果处理等。
本文件适用于电子工业用气体3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中氩气、氧气、氮气、总烃(以 甲烷计)、一氧化碳、二氧化碳、氙气和水分的测定。氩气含量测定的检出限不大于5×10-6(体积 分数),氧气、氮气、总烃(以甲烷计)、一氧化碳、二氧化碳、氙气和水分含量测定的检测限不大 于0.01×10-6(体积分数)。