GB/T 29057-2023 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

标准编号：GB/T 29057-2023

标准名称：用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

英文名称：Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy

发布日期：2023-08-06

实施日期：2024-03-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

秦榕、薛心禄、万烨、贺东江、赵生良、郭光伟、邓远红、王彬、刘国霞、万首正、赵小飞、梁洪、李素青、王志强、岳峥、张孝山、陈雪刚、于生海、邱艳梅、徐岩、田洪先、刘文明、赵娟龙

起草单位

青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、宜昌南玻硅材料有限公司、乐山市产品质量监督检验所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、青海丽豪半导体材料有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司

标准范围

本文件规定了多晶硅棒取样、将样品区熔拉制成单晶以及通过低温红外光谱法或光致发光光谱法对拉制好的单晶硅棒进行分析以确定多晶硅中施主、受主、代位碳和间隙氧杂质含量等的规程。

本文件适用于评价硅芯上沉积生长的棒状多晶硅。

标准文档截图