GB/T 42907-2023 硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法

国家标准
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标准编号:GB/T 42907-2023

标准名称:硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法

英文名称:Test method for excess-charge-carrier recombination lifetime in silicon ingots, silicon bricks and silicon wafers—Noncontact eddy-current sensor

发布日期:2023-08-06

实施日期:2024-03-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

张雪囡、王林、杨阳、邓浩、郭红强、张石晶、赵军、王建平、李向宇、刘文明、赵子龙、潘金平、李寿琴

起草单位

TCL中环新能源科技股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、四川永祥光伏科技有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古中环晶体材料有限公司

标准范围

本文件描述了用非接触式涡流感应法测试太阳能电池用单晶硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的方法。

本文件适用于非平衡载流子复合寿命在0.1μs~10000μs、电阻率在0.1Ω·cm~10000Ω·cm的硅锭、硅块和硅片的测试。其中瞬态光电导衰减法适用于非平衡载流子复合寿命小于100μs时硅锭、硅块和硅片的测试,准稳态光电导法适用于非平衡载流子复合寿命大于200μs时硅锭、硅块和硅片的测试,非平衡载流子复合寿命在100μs~200μs时,两种测试方法均适用。

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