GB/T 35307-2023 流化床法颗粒硅

国家标准
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标准编号:GB/T 35307-2023

标准名称:流化床法颗粒硅

英文名称:Granular polysilicon produced by fluidized bed method

发布日期:2023-08-06

实施日期:2024-03-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

朱共山、兰天石、王彬、李素青、李朋飞、刘辉、刘晓霞、宗冰、田洪先、刘文明、蒋立民、贺东江、徐梦、徐岩、付绪光、秦榕、王永亮、谢岩

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、乐山协鑫新能源科技有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司

标准范围

本文件规定了流化床法颗粒硅的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。

本文件适用于以氯硅烷、硅烷气为原料,采用流化床法生产的颗粒状多晶硅(以下简称颗粒硅)。

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