GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

标准编号：GB/T 42676-2023

标准名称：半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

英文名称：Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method

发布日期：2023-08-06

实施日期：2024-03-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

何烜坤、刘立娜、马春喜、许蓉、朱晓彤、李向宇、王书明、赵松彬、张新峰、赵丽丽、李素青、庞越、任殿胜、王元立、杨阳、潘金平、林泉、李国平、夏秋良

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京通美晶体技术股份有限公司、弘元新材料（包头）有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、江苏卓远半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东有研半导体材料有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司

标准范围

本文件描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽，进而评价半导体单晶晶体质量的方法。

本文件适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试，硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照本文件执行。

标准文档截图