HG/T 5895-2022 工业用混合气体硅烷/氮气

化工行业标准

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标准编号：HG/T 5895-2022

标准名称：工业用混合气体硅烷/氮气

英文名称：Mixed gas used for industry—Silane in nitrogen

发布日期：2022-09-30

实施日期：2023-04-01

提出单位：中国石油和化学工业联合会

归口单位：全国气体标准化技术委员会混合气体分技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

傅铸红、孙福楠、张金波、曲庆、赵俊秀、周亚兰、齐利兵、曹素英、陈艳珊、蒋宏达、赖晓峰、唐霞梅、吴靓、米陈闽

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本文件描述了工业用氮中硅烷混合气体（以下简称“混合气体”）的制备方法、试验方法.确立了检验规则，规定了混合气体的技术要求、包装、标志、储存及安全信息的要求。

本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。