GB/T 43035-2023 半导体器件 集成电路 第20部分：膜集成电路和混合膜集成电路总规范 第一篇：内部目检要求

标准编号：GB/T 43035-2023

标准名称：半导体器件 集成电路 第20部分：膜集成电路和混合膜集成电路总规范 第一篇：内部目检要求

英文名称：Semiconductor devices—Integrated circuits—Part 20: Generic specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits—Section 1: Requirements for internal visual examination

发布日期：2023-09-07

实施日期：2023-09-07

归口单位：全国半导体器件标准化技术委员会

执行单位：全国半导体器件标准化技术委员会半导体集成电路分会

主管部门：工业和信息化部（电子）

起草人

王婷婷、呂红杰、李林森、雷剑、冯玲玲、王琪、张亚娟

起草单位

中国电子科技集团公司第四十三研究所、中国电子技术标准化研究院

标准范围

本文件的目的是检查膜集成电路和混合膜集成电路（FICs和HFICs，以下简称器件）内部的材料、结构和制造工艺。

通常在封帽或包封前进行该项检验，从而找出并剔除带有内部缺陷的器件。这种缺陷会导致器件在正常应用中失效。其他的验收准则应与购买商或供应商商定。

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