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DB13/T 5874-2023 电子工业用氟化氢中杂质的测定 色谱法
标准编号：DB13/T 5874-2023
标准名称：电子工业用氟化氢中杂质的测定 色谱法
发布日期：2023-10-25
实施日期：2023-11-25
起草人
殷越玲、郑秋艳、柳彤、李帅楠、崔雯、刘海芳、袁攀攀
起草单位
中船（邯郸）派瑞特种气体有限公司
标准范围
本文件规定了电子工业用氟化氢中杂质的测定原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。
本文件适用于电子工业用氟化氢中氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的测定。氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检出限不大于0.01×10-6（体积分数）。