DB13/T 5874-2023 电子工业用氟化氢中杂质的测定色谱法

河北省地方标准

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标准编号：DB13/T 5874-2023

标准名称：电子工业用氟化氢中杂质的测定色谱法

发布日期：2023-10-25

实施日期：2023-11-25

起草人

殷越玲、郑秋艳、柳彤、李帅楠、崔雯、刘海芳、袁攀攀

中船（邯郸）派瑞特种气体有限公司

本文件规定了电子工业用氟化氢中杂质的测定原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。

本文件适用于电子工业用氟化氢中氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的测定。氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检出限不大于0.01×10^-6（体积分数）。