GB/T 43493.2-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法

标准编号：GB/T 43493.2-2023

标准名称：半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法

英文名称：Semiconductor device—Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices—Part 2: Test method for defects using optical inspection

发布日期：2023-12-28

实施日期：2024-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

芦伟立、房玉龙、李丽霞、杨青、张建锋、李振廷、张永强、钮应喜、丁雄杰、刘薇、乐卫平、周翔、郑隆结、薛联金、李佳、张冉冉、殷源、刘立娜、徐晨、宋生、金向军、毛开礼、周少丰、庄建军、夏俊杰、陆敏

起草单位

河北半导体研究所（中国电子科技集团公司第十三研究所）、中国电子科技集团公司第四十六研究所、山东天岳先进科技股份有限公司、中国科学院半导体研究所、山西烁科晶体有限公司、深圳市星汉激光科技股份有限公司、深圳市恒运昌真空技术有限公司、深圳超盈智能科技有限公司、厦门柯尔自动化设备有限公司、之江实验室、浙江大学、河北普兴电子科技股份有限公司、中电化合物半导体有限公司、广东天域半导体股份有限公司、常州银河世纪微电子股份有限公司、深圳市鹰眼在线电子科技有限公司、常州臻晶半导体有限公司、厦门普诚科技有限公司

标准范围

本文件提供了在商用碳化硅（SiC）同质外延片产品上缺陷光学检测的定义和方法。主要是通过给出这些缺陷的光学图像示例，为SiC同质外延片上缺陷的光学检测提供检测和分类的依据。

本文件主要论述缺陷的无损表征方法，因此有损表征例如湿法腐蚀等不包含在本文件范围内。

标准文档截图