T/ZZB 0044-2021 TDR系列单晶生长炉

浙江省质量协会
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标准编号:T/ZZB 0044-2021

标准名称:TDR系列单晶生长炉

英文名称:TDR-series crystal growing furnaces

发布日期:2021-12-26

实施日期:2021-12-26

团体名称:浙江省质量协会

起草人

朱亮、傅林坚、曹建伟、张俊、王巍、严绍军、倪军夫、叶钢飞、郑丽霞、邱 敏秀

起草单位

浙江晶盛机电股份有限公司

标准范围

本文件规定了TDR系列单晶生长炉的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、对设计和制造的补充要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、订购与供货、质量承诺。

本文件适用于直拉法单晶生长炉(以下简称“单晶炉”)。

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