T/ZZB 0044-2021 TDR系列单晶生长炉
标准编号:T/ZZB 0044-2021
标准名称:TDR系列单晶生长炉
英文名称:TDR-series crystal growing furnaces
发布日期:2021-12-26
实施日期:2021-12-26
团体名称:浙江省质量协会
起草人
朱亮、傅林坚、曹建伟、张俊、王巍、严绍军、倪军夫、叶钢飞、郑丽霞、邱 敏秀
起草单位
浙江晶盛机电股份有限公司
标准范围
本文件规定了TDR系列单晶生长炉的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、对设计和制造的补充要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、订购与供货、质量承诺。
本文件适用于直拉法单晶生长炉(以下简称“单晶炉”)。