T/QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统

标准编号：T/QGCML 3970-2024

标准名称：半导体车间金属粉尘智能检测分析系统

英文名称：Intelligent detection and analysis system of metal dust in semiconductor workshop

发布日期：2024-03-28

实施日期：2024-04-11

团体名称：全国城市工业品贸易中心联合会

起草人

张辰铭、陈肖依、张红、李玉山、何洋

起草单位

凌凯电子科技（湖北）有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有限公司

标准范围

本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。

本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。

标准文档截图