GB/T 43682-2024 纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法

标准编号：GB/T 43682-2024

标准名称：纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法

英文名称：Nanotechnology—Measurement methods for carrier mobility and sheet resistance of graphene films of sub-nanometer thickness

发布日期：2024-03-15

实施日期：2024-07-01

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会

执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门：中国科学院

起草人

王浩敏、丁荣、王慧山、孔自强、袁文军、王兰兰、倪振华、王欣然、肖少庆、张豪、干静、洪江彬、吕俊鹏、谢晓明、陈晨、陈谷一、方崇卿、邵悦、李雪松、王琛、宋宏芳、许莉、陈敏、严春伟

起草单位

泰州巨纳新能源有限公司、上海巨纳科技有限公司、厦门凯纳石墨烯技术股份有限公司、泰州石墨烯研究检测平台有限公司、南京大学、清华大学、贵州金特磨削科技开发有限公司、北京石墨烯研究院有限公司、欣旺达电子股份有限公司、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、烯旺新材料科技股份有限公司、泰州飞荣达新材料科技有限公司、东南大学、电子科技大学（深圳）高等研究院、江南大学、福建翔丰华新能源材料有限公司、北京孵烯检测认证有限公司

标准范围

本文件描述了亚纳米厚度石墨烯薄膜的霍尔器件样品制备与载流子迁移率及方块电阻测量的原理、设备、器件制备及测量过程、计算方法、不确定度的分析与计算，以及测量报告等。

本文件适用于长度和宽度均大于100μm的亚纳米厚度石墨烯薄膜的载流子迁移率(<10⁴cm²/Vs）和方块电阻的测量。

标准文档截图