T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

标准编号：T/CI 334-2024

标准名称：半导体设备隔振系统设计及技术要求

英文名称：Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments

发布日期：2024-04-18

实施日期：2024-04-18

团体名称：中国国际科技促进会

起草人

陆泽琦、陈立群、张建华、贾建军、谢永、刘兴天、李浩源、闫腾飞、凌晓、辛涵申、姜琳、陶大燎、薛杰、陈震宇、欧阳郁汀

起草单位

上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司

标准范围

本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。

本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。

本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。

标准文档截图