SJ/T 11781-2021 推板式氢气炉能源消耗规范

电子行业标准
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标准编号:SJ/T 11781-2021

标准名称:推板式氢气炉能源消耗规范

英文名称:Specification for eneruv consumption of pusher type hydrogen tunnel furnace

发布日期:2021-03-05

实施日期:2021-06-01

提出单位:工业和信息化部节能与综合利用司、中国电子节能技术协会

归口单位:中国电子技术标准化研究院

批准发布部门:工业和信息化部

起草人

吴宾、王溱、罗鸣、张乔乔、成海鸥、杨宇涛、李强、朱建峰、贾岩、叶志、罗晓燕

起草单位

陕西中电华星窑炉设备有限公司、陕西华星电子集团有限公司、北京中础窑炉设备制造有限责任公司、中国电子科技集团公司第四十三研究所合肥恒力装备有限公司、陕西科技大学、中国电子技术标准化研究院

标准范围

本标准规定了推板式氢气炉能源消耗评价指标、等级和计算方法。

本标准适用于电子信息行业在电子材料及元件生产过程中采用连续生产的推板式氢气炉,其加热方式为电阻加热的,烧成温度为1000°C~1600°C;也适用于推板式氢气炉对规定材料在烧成过程中的能耗水平进行核算和评级,对其它材料的烧成仅作为参考。

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