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SJ/T 10552-2021 电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法
标准编号：SJ/T 10552-2021
标准名称：电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法
英文名称：Method of emission spectrochemical analysis of impurities in Ti02 for use in electron ceramics
发布日期：2021-03-05
实施日期：2021-06-01
提出单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
归口单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
张旭、张理、裴会川
起草单位
中国电子技术标准化研究院
标准范围
标准规定了电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法。
本标准适用于电子陶瓷用二氧化钛中铁、硅、磷、钙、镁、铝和锑的氧化物杂质的测定。