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SJ/T 11183-2022 旋转式涂覆设备通用规范
标准编号：SJ/T 11183-2022
标准名称：旋转式涂覆设备通用规范
英文名称：General specification for spin coater
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
宗润福、徐春旭、刘正伟、冯亚彬
起草单位
沈阳芯源微电子设备有限公司、中国电子技术标准化研究院
标准范围
本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备（以下简称设备）。