SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2部分：板式PECVD设备

电子行业标准

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标准编号：SJ/T 11829.2-2022

标准名称：晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2部分：板式PECVD设备

英文名称：Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) equipment used for crystalline silicon photovoltaic cells-Part 2: Plate PECVD equipment

发布日期：2022-10-20

实施日期：2023-01-01

提出单位：全国半导体设备利材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备利材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

许烁烁、范迎新、吴得铁、、龙会跃、彭宜昌、陈特超、蔡先武、宋秀云、童芳、冯亚彬

湖南红太阳光电科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子技术标准化研究院

本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备（以下简称“板式PECVD设备”）的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。

本文件适用于晶晶体硅光伏电池用板式PECVD设备，产品主要用于多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微晶硅(ue-Si:H)、二氧化硅(SiO₂)、氧化铝(AI₃O₃)、氮化硅薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池，柔性光伏电池用PECVD也可参照使用。