SJ/T 10553-2021 电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法

标准编号：SJ/T 10553-2021

标准名称：电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法

英文名称：Method of emission spectrochernical analysis of impurities in ZrO₂ for use in electron ceramics

发布日期：2021-03-05

实施日期：2021-06-01

提出单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

张旭、张理、裴会川

起草单位

中国电子技术标准化研究院

标准范围

本标准规定了电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法。

本标准适用于电子陶瓷用二氧化锆中铁、硅、磷、钙、镁和钛的氧化物杂质测定的中型摄谱仪方法。

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