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SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备
标准编号：SJ/T 11829.1-2022
标准名称：晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备
英文名称：Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) equipment used for crystalline silicon photovoltaic cells-Part 1: Tubular PECVD equipment
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
提出单位：全国半导体没备和材料标推化技术委员会
归口单位：全国半导体没备和材料标推化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
吴得铁、田湘龙、龙会跃、成秋云、李晔纯、范迎新、肖友文、冯亚彬
起草单位
湖南红太阳光电科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子技术标准化研究院
标准范围
本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备（以下简称“管式PECVD设备”）的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于晶体硅光伏电池用管式PECVD设备膜，产品主要用于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。