SJ/T 10551-2021 电子陶瓷用三氧化二铝中杂质的发射光谱分析方法

电子行业标准
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标准编号:SJ/T 10551-2021

标准名称:电子陶瓷用三氧化二铝中杂质的发射光谱分析方法

英文名称:Method of emission spectrochemical analysis of impurities in Al2O3 for use in electron ceramics

发布日期:2021-03-05

实施日期:2021-06-01

提出单位:全国半导体设备与材料标准化技术委员会

归口单位:全国半导体设备与材料标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

起草人

张旭、张理、裴会川

起草单位

中国电子技术标准化研究院

标准范围

本标准规定了电子陶瓷用三氧化二铝中杂质的发射光谱分析方法。

本标准适用于电子陶瓷用三氧化二铝中二氧化硅、三氧化二铁、氧化镁、氧化钙杂质的测定。

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