T/CIECCPA 007-2024 半导体工业氮氧化物排放要求

标准编号：T/CIECCPA 007-2024

标准名称：半导体工业氮氧化物排放要求

英文名称：Semiconductor Industry Nitrogen Oxide Emission Requirements

发布日期：2024-03-04

实施日期：2024-03-08

团体名称：中国工业节能与清洁生产协会

起草人

李京波、王小周、张梦龙、刘黎明、张瀛、周礼誉、高嵩、杨荣博、钱昊、韩理想、袁松、王琨强、汪禹、邓向辉、阳志超、乔良、周阳、李双、王浩清、张坤

起草单位

浙江芯科半导体有限公司、杭州慧翔电液技术开发有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、大连华邦化学有限公司、东莞南方半导体科技有限公司、苏州艾特斯环保设备有限公司、上海协和环境设备有限公司

标准范围

本文件规定了半导体行业工业生产过程中产生的大气污染物氮氧化物排放标准限值、检测要求、达标判定的要求。

本文件适用于半导体工业氮氧化物排放。

标准文档截图