T/QGCML 4573-2024 高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范
标准编号：T/QGCML 4573-2024
标准名称：高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范
英文名称：Manufacturing specification for high precision and ultra clean wafer electrochemical electroplating chamber grid disk
发布日期：2024-08-12
实施日期：2024-08-27
团体名称：全国城市工业品贸易中心联合会
起草人
罗中平、雷超、赵鹏志
起草单位
常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司
标准范围
本文件规定了高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范的术语和定义、缩略语、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。
本文件适用于高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘（以下简称“网格盘”）的生产制造。
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