T/ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

标准规范中关村标准化协会

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标准编号：T/ZSA 231-2024

标准名称：氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

英文名称：Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate

发布日期：2024-05-15

实施日期：2024-05-16

团体名称：中关村标准化协会

起草人

李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司

本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。

本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。