T/CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材技术条件

中国表面工程协会

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标准编号：T/CSEA 26-2023

标准名称：电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材技术条件

英文名称：Technical specification of 8YSZ target for Electron Beam Physical Vapor Deposition

发布日期：2023-02-07

实施日期：2023-03-01

团体名称：中国表面工程协会

起草人

何箐、邹晗、王世兴、王璐、彭徽

北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学。

本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。

本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。