JJF(京) 157-2024 辉光放电光谱仪校准规范

标准编号：JJF(京) 157-2024

标准名称：辉光放电光谱仪校准规范

英文名称：Calibration Specification of Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy

发布日期：2024-05-16

实施日期：2024-07-01

归口单位：北京市市场监督管理局

起草人

毕经亮（钢研纳克检测技术股份有限公司）、赵少雷（北京市计量检测科学研究院）、徐永林（首钢集团有限公司技术研究院）、赵海波（北京市计量检测科学研究院）、朱林茂（钢研纳克检测技术股份有限公司）、胡修伟（钢研纳克检测技术股份有限公司）、于磊（国标（北京）检验认证有限公司）

起草单位

钢研纳克检测技术股份有限公司、北京市计量检测科学研究院、首钢集团有限公司技术研究院、国标（北京）检验认证有限公司

标准范围

辉光放电光谱仪即辉光放电原子发射光谱仪（GD-OES）（以下简称光谱仪），其原理是将表面平整的样品作为阴极，当直流或射频辉光放电光源产生的辉光照射到样品时产生阴极溅射，被溅射的原子扩散到等离子体中，通过碰撞激发发射出元素特征谱线，测量其强度的大小或通过计算强度与时间的函数，从而实现元素定量分析或表面化学深度分析（或深度剖析）。其中，实现元素定量分析时，通过已知元素含量的标准物质建立的元素特征谱线强度与浓度的工作曲线，确定样品中的元素含量；进行表面化学分析（或深度剖析）时，通过已知含量和溅射速率的标准物质建立的工作曲线得到溅射深度对时间的函数，实现元素深度分析和深度测量。

光谱仪主要由辉光放电光源、分光系统、检测器、操作及显示装置等组成。

本规范适用于辉光放电光谱仪的校准。

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