GB/T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用

标准编号：GB/T 25915.17-2024

标准名称：洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 17: Particle deposition rate applications

发布日期：2024-08-23

实施日期：2025-03-01

归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

执行单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

起草人

苗心向、袁晓东、郝胤博、吴志坚、丁禹龙、高怡婷、王芳、贺乐凯、魏兰、山香菊、黄狄文、张建国、奚光明、王天羿、孙扬、惠旅锋、陆晶、奚晓鹏、杨云涛、丁力行、高正、张长安、胡思伟、李华新、危勇华

起草单位

中国工程物理研究院激光聚变研究中心、苏州苏信环境科技有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、上海尚远建设工程有限公司、中国科学院大气物理研究所、北京戴纳实验科技有限公司、谱尼测试集团股份有限公司、仲恺农业工程学院、杭州捷瑞智能装备股份有限公司、朗恒科技集团有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国标准化协会、中国电子工程设计院股份有限公司、烟台宝源净化有限公司、广州保瑞医疗技术有限公司、上海市室内环境净化行业协会、科锐特（厦门）净化科技有限公司、惠特科学技术有限公司、新拓洋生物工程有限公司

标准范围

作为污染控制计划的一部分，本文件对洁净室易损表面上粒子沉积速率（PDR）测量结果的解释和应用提供了指导。提供了PDR的影响因素和降低易损表面上粒子污染风险的说明。

本文件提供了洁净室测量PDR来确定易损表面上大粒子的可接受浓度限值和风险评估方法，能确定粒子沉积到易损表面的可接受风险。当风险不可接受时，则需要采取洁净控制措施来降低PDR,粒子遮蔽速率（POR）是一种替代PDR的方法，其定义为粒子在表面上随时间增加的覆盖率。

POR的使用方式与PDR类似，也用于计算指定表面所需的POR，以降低沉积粒子的风险。

本文件：不提供根据PDR或POR对洁净室的分级方法；不直接考虑沉积的携带微生物粒子的活性；不考虑通过接触产生的表面沉积，例如人员触摸产品导致的污染。

标准文档截图