JJF(冀) 213-2023 关键尺寸扫描电子显微镜校准规范

标准编号：JJF(冀) 213-2023

标准名称：关键尺寸扫描电子显微镜校准规范

英文名称：Calibration Specification for Critical Dimension Scanning Electronic Microscopes

发布日期：2023-08-02

实施日期：2023-11-01

归口单位：河北省市场监督管理局

起草人

韩志国(中电国基北方有限公司)、吴爱华(中电国基北方有限公司)、李锁印(中电国基北方有限公司)、赵琳(中电国基北方有限公司)、许晓青(中电国基北方有限公司)、张晓东(中电国基北方有限公司)、冯亚南(中电国基北方有限公司)、张家欢(中电国基北方有限公司)、苏日丽(河北美泰电子科技有限公司)

起草单位

中电国基北方有限公司、河北美泰电子科技有限公司

标准范围

关键尺寸扫描电子显微镜是一种具有高分辨力、可以自动定位并测量纳米级线条宽度的仪器。其测量原理为:在高真空的环境下，电子枪高压引出高压电流形成电子束轰击样品表面产生二次电子束，将二次电子信号转换成图像，通过专业量测软件对需要量测的线条进行测量，最终获得被测线条线宽值。该仪器通常应具有样片自动传输、自动调焦、图形自动对准、自动定点测量、测量数据自动保存上传等功能，一般用于微电子行业中各类线条宽度的测量。

本规范适用于放大倍数 20k~200k 的关键尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)的校准。

标准文档截图