JJF(闽) 1120-2021 少子寿命测量仪校准规范

标准编号：JJF(闽) 1120-2021

标准名称：少子寿命测量仪校准规范

英文名称：Calibration Specification for Minority Carrier Lifetime Tester

发布日期：2021-09-19

实施日期：2021-10-19

归口单位：福建省市场监督管理局

起草人

陈彩云(福建省计量科学研究院)、罗海燕(福建省计量科学研究院)、黎健生(国家光伏产业计量测试中心)、杨爱军(福建省计量科学研究院)、何翔(国家光伏产业计量测试中心)

起草单位

福建省计量科学研究院

标准范围

基于无接触微波反射光电导衰减测试法的少子寿命测量仪是用来测试半导体材料的载流子复合寿命的测量仪器，其工作过程主要包括激光注入产生电子-空穴对和微波反射信号的变化两个过程。激光注入产生电子-空穴对，导致样品电导率的增加，当撤去外界光注入时，电导率随时间指数衰减，这一趋势间接反映载流子的衰减趋势，从而通过观测由电导率随时间变化的趋势就可以得到载流子的寿命。用微波反射信号来监测电导率的变化，是依据微波反射信号的变化量与电导率的变化量成正比的原理。其测试系统主要由脉冲光源、光子监测器、微波采样系统、样品台、衰减信号分析系统以及计算机系统组成。

本规范适用于无接触微波光电导衰减(microwave photo conductivity decay，μ-PCD)测试方法、测量范围在 0.5μs ~ 40μs 的少子寿命测量仪的校准。对于某些多功能的、但包含该方法的少子寿命测量仪同样适用。

标准文档截图