JJF(鄂) 115-2024 线宽标准样片校准规范

标准编号：JJF(鄂) 115-2024

标准名称：线宽标准样片校准规范

英文名称：Linewidth Standard Sample Calibration Specification

发布日期：2024-05-14

实施日期：2024-09-01

归口单位：湖北省市场监督管理局

起草人

罗锦晖（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、房斌（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、张骋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、薄涛（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、郑锋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、丁超（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、梁康（武汉大学）、东芳（武汉大学）

起草单位

中国船舶集团有限公司第七〇九研究所、武汉大学

标准范围

线宽标准样片（以下简称标准样片）是针对集成电路工艺参数测量设备，通过复现集成电路关键尺寸量值，通过扫描电子显微镜进行测量，在实际工作状态下对扫描电子显微镜完成校准。

标准样片是具备一个或多个典型值的专用标准样品，用于线宽测量仪器的校准。

本规范适用于线宽在 100nm~10μm 之间的线宽标准样片线宽的校准。

标准文档截图