JJF(鄂) 112-2024 氧化层膜厚标准样片校准规范

标准编号：JJF(鄂) 112-2024

标准名称：氧化层膜厚标准样片校准规范

英文名称：Oxide Film Thickness Standard Sample Calibration Specification

发布日期：2024-05-14

实施日期：2024-09-01

归口单位：湖北省市场监督管理局

起草人

罗锦晖（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、薄涛（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、熊瑊（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、张骋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、梁康（武汉大学）、沈威（武汉大学）、丁超（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、郑锋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

起草单位

中国船舶集团有限公司第七〇九研究所、武汉大学

标准范围

膜厚标准样片（以下简称标准样片）是针对集成电路工艺参数测量设备，通过复现集成电路关键尺寸量值，通过椭偏仪进行测量，在实际工作状态下对椭偏仪完成校准。

标准样片是具备一个或多个典型值的专用标准样品，通过校准后主要用于椭偏仪的校准、实验室比对和能力验证等。

本规范规定了厚度在 10nm~1000nm 之间的氧化层膜厚标准样片的校准。

标准文档截图