JJF(鄂) 110-2024 晶圆材料电阻特性测试系统校准规范（片上标准电阻法）

标准编号：JJF(鄂) 110-2024

标准名称：晶圆材料电阻特性测试系统校准规范（片上标准电阻法）

英文名称：Calibration Specification for Wafer Material Resistance Characteristic Testing Equipment(On-Wafer Reference Resistor Method)

发布日期：2024-05-14

实施日期：2024-09-01

归口单位：湖北省市场监督管理局

起草人

周厚平（中国船舶集团有限公司第七O九研究所）、胡勇（中国船舶集团有限公司第七O九研究所）、李轩冕（中国船舶集团有限公司第七O九研究所）、张明虎（中国船舶集团有限公司第七O九研究所）

起草单位

中国船舶集团有限公司第七O九研究所

标准范围

圆材料电阻特性测试系统主要通过测试圆表面电阻并计算电阻率进而推算晶圆加工过程中的工艺参数，比如刻蚀厚度和宽度、金相沉积的宽度和厚度等加工特性。是集成电路加工过程中的最重要的工艺控制手段之一。片上标准电阻通过将已经溯源的标准电阻值复现在晶圆片上，晶圆材料电阻特性测试系统自动测试晶圆上的标准电阻进而实现量值的溯源，达到对晶圆材料电阻特性测试系统校准的目的。

片上标准电阻复现常用的标准电阻值在晶圆片上，晶圆材料电阻特性测试系统通过其探针直接测量晶圆片上的标准电阻值，并与标准值进行对比，实现对晶圆材料电阻特性测试系统的校准。

本规范适用于新购进、使用中、修理后的晶圆材料电阻特性测试系统的校准。

标准文档截图