JJF(沪苏浙皖) 4001-2021 微纳米线间隔标准样板校准规范
标准编号：JJF(沪苏浙皖) 4001-2021
标准名称：微纳米线间隔标准样板校准规范
英文名称：Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards
发布日期：2021-08-09
实施日期：2022-04-09
归口单位：上海市市场监督管理局、江苏省市场监督管理局、浙江省市场监督管理局、安徽省市场监督管理局
起草人
傅云霞(上海市计量测试技术研究院)、程鑫彬(同济大学)、雷李华(上海市计量测试技术研究院)、高思田(中国计量科学研究院)、魏佳斯(上海市计量测试技术研究院)
起草单位
上海市计量测试技术研究院、同济大学、中国计量科学研究院
标准范围
线间隔标准样板包括：微纳米的线纹标尺、CD线间隔、一维微纳米栅格结构、二维微纳米栅格结构，如一维、二维光栅，微纳米线阵列，微纳米点阵列等。
线间隔标准样板主要用于扫描探针显微镜(AFM、STM)、电子显微镜(透射电镜和扫描电镜)、轮廓仪和台阶仪等微纳米测量仪器的校准。
本规范适用于线间隔不大于 100μm 的线间隔标准样板，如：单一间距、规则形 状阵列的一维和二维微纳米光栅、特殊排列的间距结构。
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