YS/T 1653-2023 氮化镓衬底片

有色金属行业标准
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标准编号:YS/T 1653-2023

标准名称:氮化镓衬底片

英文名称:Gallium nitride substrates

发布日期:2023-12-20

实施日期:2024-07-01

提出单位:冶金工业出版社

归口单位:全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

批准发布部门:工业和信息化部

起草人

颜建锋、陈润、王帅、殷淑仪、刘南柳、丁晓民、王建峰、修向前、罗晓菊、徐科、张国义、李素青

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、苏州纳维科技有限公司、南京大学、镓特半导体科技(铜陵)有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司

标准范围

本文件规定了氮化镓衬底片的分类和牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于半导体光电器件与电子器件用氮化镓衬底片的研发生产、测试检验等相关领域。

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