GB/T 44687-2024 超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮

标准编号：GB/T 44687-2024

标准名称：超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮

英文名称：Superabrasive products—Precision grinding wheels for semiconductor wafers

发布日期：2024-09-29

实施日期：2025-04-01

提出单位：中国机械工业联合会

归口单位：全国磨料磨具标准化技术委员会

批准发布部门：中国机械工业联合会

起草人

包华、赵延军、刘一波、邹余耀、谷春青、韩欣、牛俊凯、张良、朱亮、杨松彬、陈卫东、黄国钦、张秀涛、陶洪亮、丁玉龙、李国伟、叶腾飞、王礼华、尹玉龙

起草单位

郑州磨料磨具磨削研究所有限公司、华侨大学、江苏三晶半导体材料有限公司、广东奔朗新材料股份有限公司、江苏赛扬精工科技有限责任公司、北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司、青岛高测科技股份有限公司

标准范围

本文件规定了半导体晶圆精密磨削用砂轮的产品分类、产品标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于半导体晶圆边缘倒角精密磨削和端面减薄精密磨削用金属结合剂、树脂结合剂和陶瓷结合剂及其复合结合剂金刚石砂轮。

标准文档截图