GB/T 44513-2024 微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

标准编号：GB/T 44513-2024

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application

发布日期：2024-09-29

实施日期：2025-01-01

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

陈立国、江大白、蒋礼平、刘胜、王冰、周维虎、张硕、孙旭辉、程新利、杨剑宏、胡增、商艳龙、卢弈鹏、袁长作、钱勇国、李根梓、刘会聪、方东明、夏长奉、许宙、钟鸣、夏燕、娄亮、陈志文、张中飞、王阳俊、高峰、仲胜利、李海全

起草单位

昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、中机生产力促进中心有限公司、成都航天凯特机电科技有限公司、北京智芯微电子科技有限公司、昆山双桥传感器测控技术有限公司、中国科学院微电子研究所、苏州市质量和标准化院、上海新微技术研发中心有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、山东中科思尔科技有限公司、河北初光汽车部件有限公司、芜湖乐佳电器有限公司、中用科技有限公司、苏州大学、武汉大学、无锡华润上华科技有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、重庆宸硕测控技术有限公司、苏州慧闻纳米科技有限公司、苏州科技大学、太原航空仪表有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、广东润宇传感器股份有限公司

标准范围

本文件描述了在环境应力(温度和湿度)、机械应力和应变下，评估MEMS压电薄膜材料耐久性的试验方法，以及用于质量评估的试验条件。本文件具体描述了在温度、湿度条件和外加电压下测量被测器件耐久性的试验方法和试验条件。

本文件适用于评估MEMS压电薄膜材料的耐久性和质量，也适用于评估在硅衬底上形成的压电薄膜的正压电性能，例如用作声学传感器或悬臂式传感器的压电薄膜。

本文件不包括可靠性评估，如基于威布尔分布预测压电薄膜寿命的方法。

标准文档截图