JJF(黑) 02-2014 共焦显微镜(几何参量)校准规范

标准编号：JJF(黑) 02-2014

标准名称：共焦显微镜(几何参量)校准规范

英文名称：Calibration Specification for Confocal Microscope(Geometry Parameter)

发布日期：2014-08-12

实施日期：2014-09-01

归口单位：黑龙江省质量技术监督局

起草人

谭久彬(哈尔滨工业大学)、王伟波(哈尔滨工业大学)、刘俭(哈尔滨工业大学)、王宇航(哈尔滨工业大学)、李旭辉(国家量仪产品质量监督检验中心)

起草单位

哈尔滨工业大学、国家量仪产品质量监督检验中心

标准范围

共焦显微镜(几何参量)通过在光学系统照明端和探测端面处引入针孔，有效抑制了杂散光的影响，获得了独特的轴向层析能力，实现了较高的轴向分辨力，结合水平方向高精度扫描实现了对被测样品的三维形貌测量。

其测量过程分为共焦显微测量模块微动扫描测量和高精度三维载物台进行拼接区域移动两个步骤，其中共焦显微测量模块微动扫描测量是核心部分。首先进行微动扫描测量，通过X、Y、Z轴的微动机构完成显微物镜焦点在样品表面三维空间的扫描过程，得到样品在该三维空间大小范围内的几何参量数据。其中X、Y和Z轴测量范围均在100μm~1000μm之间。其次高精度三维载物台进行拼接区域移动，将第一步中共焦显微测量模块完成测量区域移动，并将邻近区域移入，进行拼接测量，该类高精度三维载物台X、Y和Z轴的拼接范围均在1mm~20mm之间。

其硬件组成结构包括：共焦显微测量模块微动扫描测量系统、高精度三维载物台拼接测量系统、基座及计算机系统组成。

本规范适用于基于共焦显微原理进行被测样品三维几何参量测量的共焦显微镜(几何参量)的校准。该类仪器由负责三维测量功能的共焦显微测量模块和负责拼接功能的高精度三维载物台组成，其中共焦显微测量模块X、Y和Z轴的测量范围均在100μm~1000μm之间;高精度三维载物台X、Y和Z轴的拼接范围均在1mm~20mm之间。

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