JJF 2160-2024 激光共聚焦显微镜校准规范

标准编号：JJF 2160-2024

标准名称：激光共聚焦显微镜校准规范

英文名称：Calibration Specification for Laser Confocal Microscopes

发布日期：2024-10-19

实施日期：2025-04-19

归口单位：全国几何量长度计量技术委员会

起草人

施玉书(中国计量科学研究院)、刘俭(哈尔滨工业大学)、张树(中国计量科学研究院)、王珉(南京市计量监督检测院)、刘辰光(哈尔滨工业大学)、皮磊(中国计量科学研究院)、郭鑫(南京市计量监督检测院)

起草单位

中国计量科学研究院、哈尔滨工业大学、南京市计量监督检测院

标准范围

激光共聚焦显微镜(以下简称共聚焦显微镜)是一种利用共轭点照明、点探测原理，通过激光逐点照明扫描和空间针孔调制技术获取光学层析图像，从而得到被测物体二维图像或三维表面形貌参数的仪器。共聚焦显微镜具有多种照明约束和探测形式，被广泛应用于材料科学、微纳米加工、半导体器件和生命科学等领域。

本规范适用于激光共聚焦显微镜的校准，其他基于共聚焦原理的显微镜校准也可参照本规范。

标准文档截图