GB/T 44928-2024 微电子学微光刻技术术语

标准编号：GB/T 44928-2024

标准名称：微电子学微光刻技术术语

英文名称：Terms of microlithography technology for microelectronics

发布日期：2024-12-31

实施日期：2024-12-31

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

陈宝钦、王香、李新涛、冯伯儒、薛彩荣、李和委、王力玉、薛丽君、郝美玲

起草单位

中国科学院微电子研究所

标准范围

本文件界定了微电子学微光刻技术有关的微电子光刻技术，先进光刻技术，微光刻图形化和图形数据处理技术，微光刻感光材料、铬板与基板材料，光掩模技术，光刻工艺（曝光、刻蚀与微纳米加工）技术，电子束掩模制造与直写技术，光刻及掩模质量参数测量和评定，掩模制造设备和微光刻设备等术语和定义。

本文件适用于微电子学微光刻技术领域的教学、科研、生产、应用、贸易和技术交流。

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