GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

标准编号：GB/T 4061-1983

标准名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon--Examination method--Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

发布日期：1983-12-20

实施日期：1984-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

峨嵋半导体材料厂

标准范围

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