GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法

标准编号：GB/T 13387-1992

标准名称：电子材料晶片参考面长度测量方法

英文名称：Test method for measuring flat length on slices of electronic materials

发布日期：1992-02-19

实施日期：1992-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

北京有色金属研究总院

标准范围

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