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GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
标准编号：GB/T 14142-1993
标准名称：硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
英文名称：Test method for crystallographic perfection of epit-axial layers in silicon by etching techniques
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
峨眉半导体材料研究所
标准范围
本标准规定了用化学腐蚀显示，并用金相显微镜检验硅外延层晶体缺陷的方法 本标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度测量。硅外延层厚度应大于2μm测量范围为010000cm<上标2>。