GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼

标准编号：GB/T 14603-1993

标准名称：电子工业用气体 三氟化硼

英文名称：Gases for electronic industry--Boron trifluoride

发布日期：1993-08-26

实施日期：1994-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

化工部西南化工研究院

标准范围

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