标准编号：GB/T 6619-1995
标准名称：硅片弯曲度测试方法
英文名称：Test methods for bow of silicon slices
发布日期：1995-04-18
实施日期：1995-12-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
洛阳单晶硅厂
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