立即下载标准文件- GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
- GB/T 15860-1995 激光唱机通用技术条件
- GB/T 4937-1995 半导体器件机械和气候试验方法
- GB/T 15894-1995 化学试剂 石油醚
- GB/T 15893.4-1995 工业循环冷却水中溶解性固体的测定 重量法
- GB/T 15889-1995 SSMA型射频同轴连接器
- GB/T 9536-1995 电子设备用机电开关 第1部分:总规范
- GB/T 15865-1995 摄像机(PAL/SECAM/NTSC)测量方法 第1部分:非广播单传感器摄像机
- GB/T 15878-1995 小外形封装引线框架规范
- GB/T 15877-1995 蚀刻型双列封装引线框架规范
GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件
标准编号：GB/T 15862-1995
标准名称：离子注入机通用技术条件
英文名称：Generic specification for ion implantation equipment
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
归口单位：工业和信息化部（电子）
执行单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草人
起草单位
电子工业部第四十八研究所
标准范围
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。