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GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
标准编号：GB/T 16527-1996
标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
英文名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
长沙韶光微电子总公司
标准范围
本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。 本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。