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GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
标准编号：GB/T 16524-1996
标准名称：光掩模对准标记规范
英文名称：Specification for registration marks for photomasks
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
中国科学院微电子中心
标准范围
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。 本规范适用于光掩模。